マスフローコントローラー 10SCCM-Air C1005

製品データ

品番 3-5064-01
製品名称 マスフローコントローラー 10SCCM-Air C1005 型番 : C1005
商品名 マスフローコントローラー 10SCCM-Air C1005
JANコード 4589645250019
型番 C1005
定価(円・税抜) 104000
特徴 ●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕様 ●フルスケール流量:10SCCM-Air●ガス種類:Air●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)●応答性:6sec●流量制御範囲:5~100%FS●入出力:アナログ信号(0~5VDC)●バルブ形式:N/Oノーマルオープン●再現性:±0.2%FS●動作圧力範囲:50~300kPa●耐圧:1MPa(G)●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下●接ガス部材質:SUS316、PTFE、フッ素ゴム●接続:1/4in.SWL相当●電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)●サイズ:127×25.5×100mm

製品カテゴリ

大分類名 計測・測定・検査
中分類名 物性・物理量測定機器
小分類名 流量計

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