マスフローコントローラー 100SCCM-He C1005

製品データ

品番	3-5067-04
製品名称	マスフローコントローラー 100SCCM-He C1005 型番 : C1005
商品名	マスフローコントローラー 100SCCM-He C1005
JANコード	4589645250194
型番	C1005
定価（円・税抜）	104000
特徴	●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕様	●フルスケール流量：100SCCM-He●ガス種類：He●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）●応答性：6sec●流量制御範囲：5～100％FS●入出力：アナログ信号（0～5VDC）●バルブ形式：N/Oノーマルオープン●再現性：±0.2％FS●動作圧力範囲：50～300kPa●耐圧：1MPa（G）●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム●接続：1/4in.SWL相当●電源：＋15VDC±5％　60mA、－15VDC±5％　150mA●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）●サイズ：127×25.5×100mm

製品カテゴリ

大分類名	計測・測定・検査
中分類名	物性・物理量測定機器
小分類名	流量計