マスフローコントローラー 10SLM Ar C1020-4S2-10L-Ar

製品データ

品番	3-6946-03
製品名称	マスフローコントローラー 10SLM Ar C1020-4S2-10L-Ar 型番 : C1020-4S2-10L-Ar
商品名	マスフローコントローラー 10SLM Ar C1020-4S2-10L-Ar
JANコード	4589645250965
型番	C1020-4S2-10L-Ar
定価（円・税抜）	121000
特徴	●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。●スタート時のフローサージ現象を抑制します（30秒以上のインターバルが必要）。
仕様	●流量（SLM）：10●ガス：Ar●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）●再現性：±0.2％FS●流量制御範囲：5～100％FS●流体：気体●使用可能温度：5～50℃　85%RH以下●応答性：6sec●動作圧力範囲：50～300kPa●耐圧：1MPa（G）●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム●表面処理：機械加工仕上げ●継手：1/4in.SWL相当●入出力：アナログ信号（0～5VDC）●バルブ形式：N/O　ノーマルオープン●駆動電源：+15VDC±5%　60mA、－15VDC±5%　150mA●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）●サイズ：160×33.6×105mm

製品カテゴリ

大分類名	計測・測定・検査
中分類名	物性・物理量測定機器
小分類名	流量計