製品データ
| 品番 | 3-5064-01 |
|---|---|
| 製品名称 | マスフローコントローラー 10SCCM-Air C1005 型番 : C1005 |
| 商品名 | マスフローコントローラー 10SCCM-Air C1005 |
| JANコード | 4589645250019 |
| 型番 | C1005 |
| 定価（円・税抜） | 104000 |
| 特徴 | ●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。●スタート時のフローサージ現象を抑制します。 |
| 仕様 | ●フルスケール流量：10SCCM-Air●ガス種類：Air●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）●応答性：6sec●流量制御範囲：5～100％FS●入出力：アナログ信号（0～5VDC）●バルブ形式：N/Oノーマルオープン●再現性：±0.2％FS●動作圧力範囲：50～300kPa●耐圧：1MPa（G）●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム●接続：1/4in.SWL相当●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）●サイズ：127×25.5×100mm |
製品カテゴリ
| 大分類名 | 計測・測定・検査 |
|---|---|
| 中分類名 | 物性・物理量測定機器 |
| 小分類名 | 流量計 |
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