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製品データ
品番 | 3-5066-05 |
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製品名称 | マスフローコントローラー 50SCCM-H2 C1005 型番 : C1005 |
商品名 | マスフローコントローラー 50SCCM-H2 C1005 |
JANコード | 4589645250156 |
型番 | C1005 |
定価(円・税抜) | 104000 |
特徴 | ●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。●スタート時のフローサージ現象を抑制します。 |
仕様 | ●フルスケール流量:50SCCM-H2●ガス種類:H2●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)●応答性:6sec●流量制御範囲:5~100%FS●入出力:アナログ信号(0~5VDC)●バルブ形式:N/Oノーマルオープン●再現性:±0.2%FS●動作圧力範囲:50~300kPa●耐圧:1MPa(G)●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下●接ガス部材質:SUS316、PTFE、フッ素ゴム●接続:1/4in.SWL相当●電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)●サイズ:127×25.5×100mm |
製品カテゴリ
大分類名 | 計測・測定・検査 |
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中分類名 | 物性・物理量測定機器 |
小分類名 | 流量計 |