マスフローコントローラー 30LM N2 C1030-4S2-30L-N2

製品データ

品番	3-8034-02
製品名称	マスフローコントローラー 30LM N2 C1030-4S2-30L-N2 型番 : C1030-4S2-30L-N2
商品名	マスフローコントローラー 30LM N2 C1030-4S2-30L-N2
JANコード	4589645251092
型番	C1030-4S2-30L-N2
定価（円・税抜）	133000
特徴	●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。
仕様	●流量(SLM)：30●ガス：N2●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃)●再現性：±0.2%FS●流量制御範囲：5～100%FS●流体：気体●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下●応答性：6sec●動作圧力範囲：50～300kPa●耐圧：1MPa(G)●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム●表面処理：機械加工仕上げ●継手：1/4in.SWL相当●入出力：アナログ信号(0～5VDC)●バルブ形式：N/O ノーマルオープン●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)●サイズ：160×33.6×105mm

製品カテゴリ

大分類名	計測・測定・検査
中分類名	物性・物理量測定機器
小分類名	流量計