マスフローコントローラー S48-32-MFC-10CCM-4IS-N2

製品データ

品番 4-4263-01
製品名称 マスフローコントローラー S48-32-MFC-10CCM-4IS-N2 型番 : S48-32-HMT,,MFC-10SCCM-4IS-N2
商品名 マスフローコントローラー S48-32-MFC-10CCM-4IS-N2
JANコード 0000000000000
型番 S48-32-HMT,,MFC-10SCCM-4IS-N2
定価(円・税抜) 80000
特徴 ●気体の正確な質量流量制御が可能です。●高信頼性のサーマルセンサーやソレノイドバルブを搭載しています。●高速応答で流量設定値まで2秒以内です。
仕様 ●フルスケール流量/接続:10SCCM●接続口径:1/4inchSW●測定ガス種:N2●★入数:1個●接ガス部材質:SUS316L、バイトン、PTFE、磁性ステンレス●バルブ形式:非通電時 閉(クローズ):C●流量制御範囲:0~50LM/2~100%FS、100LM~/5~100%FS●応答速度:0~50LM/1秒以内、100LM~/2秒以内●流量精度:±1.0%F.S.(15℃~35℃)●繰り返し再現性:±0.2%F.S.(15℃~35℃)●耐圧:1MPa(G)●外部リークレート:1×10-8Pa・m3/s(He)以下●流量設定信号:0.1~5VDC●流量出力信号:0-5VDC●駆動電源:DC±15V●標準継手:0~50LM/1/4inch Swagelok相当 面間=127mm、100LM・200LM/3/8inch Swagelok相当 面間=181mm

製品カテゴリ

大分類名 計測・測定・検査
中分類名 物性・物理量測定機器
小分類名 工具その他

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