マスフローコントローラー　Ｓ４８－２８－ＭＦＣ－１００ＬＭ－６ＩＳ－Ｈｅ

品番	4-4271-06
製品名称	マスフローコントローラー　Ｓ４８－２８－ＭＦＣ－１００ＬＭ－６ＩＳ－Ｈｅ型番 : S48-28-HMT,,MFC-100SLM-6IS-He
商品名	マスフローコントローラー　Ｓ４８－２８－ＭＦＣ－１００ＬＭ－６ＩＳ－Ｈｅ
JANコード	0000000000000
型番	S48-28-HMT,,MFC-100SLM-6IS-He
定価（円・税抜）	160000
特徴	●気体の正確な質量流量制御が可能です。●高信頼性のサーマルセンサーやソレノイドバルブを搭載しています。●高速応答で流量設定値まで2秒以内です。
仕様	●フルスケール流量／接続：100SLM●接続口径：3/8inchSW●測定ガス種：He●★入数：1個●接ガス部材質：SUS316L、バイトン、PTFE、磁性ステンレス●バルブ形式：非通電時閉（クローズ）：C●流量制御範囲：0～50LM／2～100％FS、100LM～／5～100％FS●応答速度：0～50LM／1秒以内、100LM～／2秒以内●流量精度：±1.0％F.S.（15℃～35℃）●繰り返し再現性：±0.2％F.S.（15℃～35℃）●耐圧：1MPa（G）●外部リークレート：1×10-8Pa・m3/s（He）以下●流量設定信号：0.1～5VDC●流量出力信号：0-5VDC●駆動電源：DC±15V●標準継手：0～50LM／1/4inch Swagelok相当面間=127mm、100LM・200LM／3/8inch Swagelok相当面間=181mm