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製品データ
品番 | 4-4272-04 |
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製品名称 | マスフローコントローラー S48-28-MFC-200LM-6IS-H2 型番 : S48-28-HMT,,MFC-200SLM-6IS-H2 |
商品名 | マスフローコントローラー S48-28-MFC-200LM-6IS-H2 |
JANコード | 0000000000000 |
型番 | S48-28-HMT,,MFC-200SLM-6IS-H2 |
定価(円・税抜) | 160000 |
特徴 | ●気体の正確な質量流量制御が可能です。●高信頼性のサーマルセンサーやソレノイドバルブを搭載しています。●高速応答で流量設定値まで2秒以内です。 |
仕様 | ●フルスケール流量/接続:200SLM●接続口径:3/8inchSW●測定ガス種:H2●★入数:1個●接ガス部材質:SUS316L、バイトン、PTFE、磁性ステンレス●バルブ形式:非通電時 閉(クローズ):C●流量制御範囲:0~50LM/2~100%FS、100LM~/5~100%FS●応答速度:0~50LM/1秒以内、100LM~/2秒以内●流量精度:±1.0%F.S.(15℃~35℃)●繰り返し再現性:±0.2%F.S.(15℃~35℃)●耐圧:1MPa(G)●外部リークレート:1×10-8Pa・m3/s(He)以下●流量設定信号:0.1~5VDC●流量出力信号:0-5VDC●駆動電源:DC±15V●標準継手:0~50LM/1/4inch Swagelok相当 面間=127mm、100LM・200LM/3/8inch Swagelok相当 面間=181mm |
製品カテゴリ
大分類名 | 計測・測定・検査 |
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中分類名 | 物性・物理量測定機器 |
小分類名 | 工具その他 |